Büyük miktarlardaki
endüstriyel gazlar; ilaç, petro, gıda, kimya ve yarı iletkenler gibi birçok
uygulama alanında kullanılmaktadır.
Safsızlıkların
analizi, ürün kalitesi için birinci derecede önemlidir. GAS Yüksek Saflık
Analizörü (HPA), büyük miktarlardaki gazların tam spesifikasyonunu tanımlamak
için standart bir araçtır.
GAS Yüksek Saflık
Analizörü, pek çok büyük kütlelerdeki gazdaki H2, O2, N2,
CH4, CO, CO2 ve hafif hidrokarbonlar gibi kalıcı gazları
ölçer. Saflık özelliği için düşük ppb konsantrasyon seviyeleri gereklidir.
"Pulsed Discharged Detector" (PDD) kullanılarak yüksek hassasiyet elde
edilmektedir: ilgilenilen bileşenler, helyum deşarjı ile iyonizasyondan sonra
ölçülür.
GAS HPA, çok çeşitli
numune türleri için uygulanır. Kalıcı gazlar ve hidrokarbon akımlarının (hydrocarbons
streams) yanı sıra NH3, SF6, CF4, HCl, Cl2,
SiH4, GeH4, N2O, Xe, Kr deki safsızlıkları da
başarıyla analiz eder.